半导体自动光学(AOI)检测设备系统解决方案提供商
半导体中道、后道工艺制造领域自动光学测试设备制造商
半导体检测设备提供商
自动光学测试设备制造商
扫一扫，加微信客服
365天24小时业务热线：13829138856
365天24小时技术热线：13829138856
邮箱：huapin20151005@163.com
365天24小时业务热线：13829138856
365天24小时技术热线：13829138856
邮箱：huapin20151005@163.com
时间：2026-05-11 编辑：半导体检测设备服务网
湿法无线晶圆测温系统是半导体先进制程监控领域的重要创新成果
On Wafer WLS-WET无线晶圆测温系统是半导体先进制程监控领域的重要创新成果。该系统通过自主研发的核心技术，将温度传感器嵌入晶圆集成，实现了晶圆本体与传感单元的无缝融合。传感器采用IC传感器，具备±0.1℃的测量精度和10ms级快速响应特性，可实时捕捉湿法工艺中瞬态温度场分布。
相较于传统热电偶接触式测温，该系统实现了非接触、全域化、原位测量，可完整记录从化学药液注入、高速旋转清洗到氮气吹扫全过程的温度梯度变化。结合配套的统计分析软件，能够建立温度参数与缺陷率、关键尺寸的相关性模型，为先进制程的工艺窗口优化提供量化依据。
该系统的核心突破在于DUAL SHIELD技术，该技术突破性地解决了离心力导致的传感器位移偏差和电磁干扰的问题，解决了湿法清洗设备监测温度的难题，在湿法清洗设备（如单片清洗机）的高速旋转（通常超过1000 RPM）状态下，仍能保持数据采集的精准性。 系统搭载的抗干扰无线传输模块，确保在复杂设备环境中的数据传输可靠性，数据采样频率最高可达1kHz。
On Wafer WLS-WET湿法无线晶圆测温系统系列产品包括：
On Wafer WLS-WET 湿法无线晶圆测温系统
On Wafer WLS-WET-H 湿法无线晶圆测温系统
【应用场景】湿法清洗
【产品优势】
1. 无线测温采集：传感器无需有线连接即可传输数据，满足晶圆在复杂性状况下通过无线通信方式进行温度测量。
2. 实时测温监测：系统可以提供实时温度读数，通过测温数据观察晶圆在工艺过程中的温度变化过程。
3. 满足高精度测量：采用高精度温度传感器确保数据的准确性，晶圆生产过程中精确控制工艺条件至关重要。
4. 测温数据分析能力：测量后的数据通过软件分析和优化工艺参数，提高产量和产品质量。
5. 支持过程调整与验证：通过分析在产品工艺条件下收集的温度数据实现调整湿法和其他关键工艺步骤的条件，以确保最佳性能。
6. 全面热分布区监测：在晶圆上支持多达12寸128个位置同时进行温度监测，从而获得全面的热分布图。
On Wafer WLS-WET湿法无线晶圆测温系统系列在半导体制程湿法清洗工艺中温度监测的应用，显著增强半导体制造的工艺控制能力，减少温度不均匀导致清洗效果不一致的问题，进一步提升产品良率百分比，减少缺陷率，提高生产效率，实现降本增效。
仪器计量校准服务认准第三方CNAS校准实验室将严格按照《计量法》及相关检定规程,校准规范,国标或仪器说明书技术···
博计法定计量检定机构专门从事仪器检定校准,计量仪器检定,仪器检定服务等全面的第三方CNAS校准实验室,覆盖长度···
博计拥有一支专业仪器仪表校验人才组成的技术精英团队,开展多仪器仪表校验,仪表计量校验专业,深层次,富有实效性的···
博计深耕40余载仪器校准服务工程师团队积累了丰富的行业经验,涉及电磁,无线电,时间频率,几何量,热学,力学,化···
博计深耕40余载仪器仪表校准服务工程师团队积累了丰富的计量检测定制方案行业经验,涉及电磁,无线电,时间频率,几···
博计秉承“推动计量进步,让世界爱上中国品质”的宗旨和使命,深耕40余载仪器仪表校准服务工程师团队积累了丰富的计···
博海与您只有一个电话的距离
扫一扫微信在线咨询
扫一扫添加业务微信
多年前,我的第壹个客户对我说："我知道你公司刚成立,也没有生产车间,但我看中的就是你做事踏实",于是我决定老实做人、用心做事,创办自己的半导体中道、后道工艺制造领域自动光学测试设备制造商,拥有一支快捷协作的销售和售后服务团队,研发、设计工程师在算法、光学、机电以及自动化控制、数据中心、人工智能等领域有深厚的丰富技术积累,为您提供半导体检测设备研发、设计、生产、销售一站式服务!诚信打造,安全保障,用心服务,助力中国IC、IGBT、LED、半导体IDM厂、封装厂产业发展!谢谢一路支持我的同事与合作伙伴。
全国业务直线/研发技术热线
138-2913-8856邮箱
huapin20151005@163.com公司地址
广东省东莞市南城区鸿福路中环财富广场12楼1216
