自动晶圆缺陷检测系统

自动晶圆缺陷检测系统由多方位视觉检测系统、高性能隔振系统以及晶圆自动上下料系统组建而成。该系统采用先进的机器学习算法，实现对污点、划痕、凹凸、断裂、异色、尺寸误差等缺陷的高精度检测与预警，最小可检测缺陷达到0.5μm，误检率低于1%。

产品特点

最小检测缺陷为0.5μm

最大误检率为1%

支持自动上下料

支持自动聚焦和微分干涉

支持12寸及以下晶圆、蓝膜、芯片盒等多种形态检测

机器学习系统，支持有图形和无图形缺陷检测

支持明场和暗场检测

可检测污点、划痕、凹凸、断裂、异色、尺寸误差等

主要应用

支持硅光、薄膜铌酸锂、III-V、SiC、GaN等领域

FLA-mini 光纤链路分析仪正式上市

高精便携，一键掌控光链路测试

在高速通信、航空电子与数据中心等行业快速发展的背景下，光纤链路测试对于精度、效率与便携性的要求持续提升。针对现场测试复杂、设备笨重、定位效率低等行业痛点，全新推出的FLA-mini光纤链路分析仪，以高分辨率、便携化、多功能集成等优势，为光纤链路测试带来更加高效精准的解决方案。

FLA-mini采用手持式设计，集光纤长度测量、分布式回损测试、断点失效检测等功能于一体，可广泛应用于飞机光纤布线、通信网络维护、数据中心建设及光器件研发等场景，帮助用户快速完成现场检测与故障定位。

小体积，大性能

2mm空间分辨率，实现精细化链路分析

面对复杂光纤网络环境，传统测试设备往往难以兼顾分辨率与测试距离。FLA-mini在紧凑机身内实现了高性能测试能力，空间分辨率低至2mm，能够精准识别微小反射与链路异常点，大幅提升故障定位效率。

设备标准测量范围可达500m，同时支持定制升级至1000m或2000m，满足不同规模光链路测试需求，无论是短距离精密检测还是长距离链路分析，都能轻松应对。

手持便携设计

面向现场测试而生

FLA-mini采用轻量化手持式设计，整机重量仅约2.5kg，便于携带与移动作业。设备配备触控显示屏，操作逻辑简洁直观，即使在复杂现场环境中，也能快速完成测试配置与结果查看。

同时，内置可充电电池设计进一步提升了现场适应能力，无需依赖固定供电，即可满足移动测试与应急检测需求，为工程人员带来更高效的现场体验。

高动态范围

精准数据，快速响应

在性能方面，FLA-mini拥有优异的测试指标：

回损动态范围：70dB

插损动态范围：15dB

单次测量时间：4~12秒

高动态范围能够有效提升复杂链路环境下的测试稳定性与准确性，而快速测量能力则进一步缩短现场作业时间，满足高效率测试需求。

广泛应用于多个行业场景

凭借精准、便携、高效的产品优势，FLA-mini可广泛应用于：

飞机光纤布线检测

通信网络建设与运维

数据中心光链路测试

光器件生产与研发

光纤故障排查与定位

无论是实验室研发还是现场工程应用，FLA-mini都能够为用户提供可靠、高效的光链路测试支持。

随着光通信技术不断升级，光链路测试设备正朝着高精度、便携化与智能化方向发展。FLA-mini光纤链路分析仪，以精准测量能力、轻量化设计与多功能集成，为行业用户带来更加灵活高效的测试体验，助力光纤测试迈向更高效率与更高可靠性。

为短距多模光纤精密测量而生

在光通信与传感领域，850nm 波段是多模光纤系统的核心工作窗口，广泛应用于数据中心短距离互联、局域网布线等场景。然而，长期以来适用于该波段的精密测试设备相对稀缺。

国产设备突破技术壁垒，推出850nm波段OFDR测试设备，填补了短波长精密测量的市场空白，为850激光器、数据中心及特殊传感领域带来了全新的测试解决方案。

短距通信的隐形支柱

850nm是多模光纤系统的核心工作波段之一，主要覆盖建筑物内或校园级短距离通信。相比长波长方案，其优势显著：

成本效益高：850nm垂直腔面发射激光器（VCSEL）制造工艺成熟，成本远低于1310nm和1550nm激光器

兼容性强：多模光纤纤芯直径较大（OM1：62.5μm，OM2~OM5：50μm），连接容差大，安装便捷

带宽充足：支持百米级高速传输，充分满足数据中心机架内互联等场景需求

精密测量的颠覆性突破

光频域反射（OFDR）技术是光纤测量领域的重要革新，相较传统 OTDR（光时域反射仪）具备显著精度优势：

超高空间分辨率：采用扫频光源与傅里叶变换技术，空间分辨率可达毫米级，远超 OTDR 的米级分辨率。

精确故障定位：可精确定位光纤链路中的微弱信号事件点，如连接点、弯曲损耗、微裂纹等，也能定位强信号事件点，如光纤断裂，错位、损伤等。

中短距测量优势：在百米级范围内的测量精度远超OTDR，能快速高效完成中短光纤链路精准检测。

国产自研 OFDR 采用集成式设计，将光源、探测器、信号处理模块高度集成，架构精简，开机即用，并有效避免长期插拔带来的连接损耗，确保长期测量稳定性。

产品参数：

测量长度：500m

空间分辨率：2mm

中心波长：850nm

回损动态范围：70dB

回损重复精度：±0.5dB

插损动态范围：15dB

插损重复精度：±0.2dB

单次测量时间：＜15s

（注：支持定制200μm空间分辨率， 50m测量长度的型号，详情可咨询）

典型应用：数据中心与局域网应用

在数据中心多模光纤链路检测中，850nm OFDR能够：

①精准定位链路中的微弯损耗和连接点故障

②评估OM3/OM4/OM5多模光纤的完整性和传输性能

③快速诊断VCSEL光源系统的链路健康状态

案例实测

使用850nm的OFDR样机对850波段的三环偏振控制器进行长度测试，结果如下：

可以精准得到长度为2.04m，且此样品链路中没有产生噪声台阶和其他异常反射峰，说明没有明显损耗和断点，器件光信号传输正常。

使用其他波段（13波段/15波段）的OFDR设备对此样品进行测试，结果如图：

13波段设备测试结果

15波段设备测试结果

对比测试：

使用 1310nm 和 1550nm 波段的 OFDR 设备对同一样品测试，结果显示两个长波段均出现较大损耗，影响链路性能判断。

而 850nm 设备可准确测出链路长度与异常事件点，验证了短波 OFDR 的不可替代性。

总结

850nm OFDR 设备为短距多模光纤通信与新型光电器件的研发部署，提供了关键测试保障。在国产化替代浪潮中，凭借自主研发能力与快速迭代优势，该设备正成为国内光通信与传感测量领域的重要力量。