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时间：2025-09-01 编辑：半导体检测设备服务网
瑞霏光电晶圆翘曲应力检测设备交付台湾地区客户
瑞霏光电晶圆翘曲应力检测设备交付台湾地区客户，该设备基于高精度光学干涉与三维形貌重构技术，可精准捕捉晶圆在制程中的微米级翘曲变形与应力分布数据，为台湾半导体先进制程的良率提升与工艺优化提供了关键的量测保障。
瑞霏光电完成台湾地区客户订单交付，晶圆翘曲应力检测设备已于4月2日发货至上海港，将于4月7日海运至台湾基隆港。
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