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时间：2025-09-01 编辑：半导体检测设备服务网
国发创投正式投资瑞霏光电
国发创投正式投资苏州瑞霏光电科技有限公司（以下简称“瑞霏光电”）。
瑞霏光电总部位于苏州太仓高新区软件园，是专业从事先进光学检测及成像系统研发与生产的国家级高新技术企业。公司2019年获得太仓领军人才、2020年获得江苏省民营科技企业和国家高新技术企业荣誉称号。开发团队由来自清华大学、苏州大学的多位博士组成。主要产品包括自由曲面光学三维检测仪、晶圆薄膜应力测量仪、三维测量显微镜、外观缺陷检测仪以及精密光学镜头等。
自由曲面光学三维检测仪是公司的主打产品，其测量过程简单,无需精密调整样品姿态, 单件测量时间一般小于20秒，检测效率远远优于三坐标和UA3P等接触式三维检测设备，适合用于自由曲面光学面的全检。基于CAD模型或者方程式的三维面型数据比对分析，可自动完成面型质量评价，输出信息包含3D误差分布图、上下公差比例计算、PV和RMS值、3D显示、曲率分析、斜率误差以及凹凸分析等。
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