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视觉检测显示屏ITO面上IC表面缺陷机器

时间:2025-09-04   编辑:半导体检测设备服务网

视觉检测显示屏ITO面上IC表面缺陷机器

显示屏ITO面上IC表面缺陷检测是确保显示屏质量的重要环节,以下是一些常见的检测方法和技术:

1. 基于热成像的检测方法

这种方法通过给ITO电路通电使其发热,然后利用热成像技术拍摄发热的ITO电路,得到热成像图片。具体步骤如下:

 通电发热:对ITO电路通电,使其发热。

 热成像拍摄:对发热的ITO电路进行热成像,得到热成像图片。

 图像处理:将热成像图片转换为灰度图片,进行二值化处理,提取图案边缘,生成ITO电路图片。

 缺陷检测:将生成的ITO电路图片与设计图案进行比对,检测缺陷

2. 基于机器视觉的检测系统

这种方法利用机器视觉技术,通过高分辨率相机和多光源成像,结合图像处理算法实现缺陷检测。具体步骤如下:

 成像方案:使用线扫描相机和多光源同时曝光合成图像,使表面缺陷与易误干扰项形成不同特征。

 图像处理:采用Blob分析方法对明暗场图像进行分类处理,实现对划痕、气泡、划伤等表面缺陷的检测。

 软件系统:康耐德智能利用C#实现具备友好的人机操作界面的检测软件系统

3. 高分辨率线阵CCD相机检测系统

这种方法采用高分辨率线阵CCD相机和中长焦镜头,通过分离相机与镜头及镜头倒置,获得较大的动态范围和较好的调制转换函数优化值。具体步骤如下:

 高分辨率成像:使用高分辨率线阵CCD相机和中长焦镜头,获得较高的图像放大率与图像精度。

 动态范围优化:通过分离相机与镜头及镜头倒置,获得较大的动态范围和较好的调制转换函数优化值。

 运动精度提升:采用直线电机提高系统的运动精度与稳定度。

 环境隔离:使用大理石底座减小周围环境振动对系统精度的影响

4. 液晶屏ITO线路AOI检查机

这种方法适用于液晶屏线路裸露区域ITO的缺陷检测,具有高精度和高效率的特点。具体性能指标如下:

 检测范围:液晶屏尺寸1.8~40寸,最大1000 x 480mm,适用于异形屏检测。

 检测区域:覆盖整个玻璃ITO线路,包括Fanout区域线路、CFOG-Pad区域线路等。

 支持线路:直线、波浪线、拐角线路、交叉线、亮暗线等。

 检测项目:线路划伤、微划伤、短路、断路、微断、异物(脏污)、腐蚀、毛刺等。

 检测精度:最小可检测缺陷尺寸2um×2um。

 漏检率:0 DPPM。

 过检率:<5%,且平均误判图片<2张/片。

 检测速度:7-12 Inch Panel 。

5. 基于喷涂溴化银的成像方法

这种方法通过在显示屏表面喷涂溴化银,利用反射光线的成像来检测缺陷。具体步骤如下:

 光源调整:打开光源,调整分光镜的角度,使光线分为两束,分别照射在反光镜一和反光镜二上。

 喷涂溴化银:在下显示屏和上显示屏表面均匀喷涂溴化银,溴化银遇强光照射会变色。

 反光镜调整:调整反光镜一和反光镜二的角度,使光线反射到玻璃的上下表面边缘。

 移动光源:移动光源,使光线从玻璃的一侧边缘慢慢照射到另一侧边缘,反射到上下显示屏上。

 观测结果:如果玻璃表面有缺陷,显示屏上喷涂的溴化银部分会出现没有变色的间隙,从而直接观测到缺陷

这些方法各有优缺点,选择适合的检测方法可以有效提高显示屏ITO面上IC表面缺陷检测的效率和准确性。


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