上海果纳半导体技术有限公司简介

时间：2025-08-13 编辑：半导体检测设备服务网

上海果纳半导体技术有限公司简介

果敢拼搏，纳贤创芯

上海果纳半导体技术有限公司成立于2020年，上海果纳半导体技术有限公司深耕晶圆传输设备整机模块及关键零部件的研发和生产，自主研发的产品包括晶圆前端传输模块（EFEM）、晶圆分选机（SORTER）、晶圆存储系统（STOCKER）、自动物料搬运系统（AMHS）和传输领域关键零部件，拥有多项核心关键技术，填补了国内空白，为国内集成电路传输设备细分领域的领军企业。

上海果纳半导体技术有限公司为高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业、上海市专精特新企业、上海市数字化转型领军先锋企业、中国IC独角兽新锐企业，并荣获中国“芯力量”最具投资价值奖、IC风云榜“年度优秀创新产品奖”、中国半导体市场最佳产品奖、产业链突破奖等多项行业荣誉。

净化间,机加工中心,生产基地,海外市场

目前上海果纳半导体技术有限公司拥有三个控股子公司，两个分公司，项目和产品分布海内外。为拓展产能，满足订单快速提升的需求，浙江果纳在海宁建有高标准的智能化半导体设备生产基地，专注于晶圆传输设备的大规模量产；武汉纳优致力于半导体工艺设备关键零部件的维修以及现场技术支持；海外控股子公司Waftech（威纳半导体），专注于为半导体先进封装领域提供高质量的自动化设备；位于武汉以及北京的分公司，可以更高效全面地为客户提供现场服务和技术支持。

EFEM——设备前端模块：

果纳EFEM采用固定式多关节单臂双叉型机器人，具有更高的稳定性，更高的传片效率，以及长期使用的高洁净度要求。

具有优异的内部气流导向结构设计，保证了内部空间微环境的洁净度满足ISO Class1级别要求。

可以兼容所有符合SEMI标准的FOUP、FOSB、OCS和金属料盒。

可根据客户需求选择订制晶圆承载台数量，可以安装在框架前面和背面(N=2、3、4、5)。

提供多种可选功能配置，晶圆读码，翻转机构和化学过滤器。

特点：

离子棒

光幕

多种料盒

多种类化学过滤器

读码器

条形码读码器

支持8寸，12寸晶圆传输

充氮气料盒载具

ID读码器

数据的可靠性/可用性/可维护性：

条款规格

正常运行时间 ≥98%

平均故障间隔时间 ≥2,000 hours

平均修复时间 ≤0.5 hours

设备平均故障周期 ≥10.000 cycles

援助平均间隔时间 ≥750 hours

晶圆刮伤率 ≤1/100,000

无警报循环次数 ≥30.000 cycles

晶圆ID读取失败率 ≤0.5%

Sorter——晶圆分选机：

果纳晶圆分选机是一种将晶圆按指定路径自动传输的设备，可分选直径200mm和300mm的晶圆。

可以兼容所有符合SEMI标准的FOUP、FOSB、OCS和金属料盒。

可根据客户需求选择订制晶圆承载台数量，可以安装在框架前面和背面(N=2、3、4、6、8)。

果纳晶圆分选机配置了优化的微型环境设计，可提供一流的清洁度，可达到ISOClass 1级别的要求。

果纳晶圆分选机提供多种可选功能配置，晶圆读码，翻转机构和化学过滤器。

产品特点：

wafer lD读码器

离子棒

光幕

多种料盒

多种类化学过滤器

RFID读码器

条形码读码器

支持8寸，12寸晶圆传输

充氮气料盒载具

半导体工厂标准传输协议

条款规格

正常运行时间 ≥98%

平均故障间隔时间 ≥3,000 hours

平均修复时间 ≤0.5 hours

设备平均故障周期 ≥10,000 cycles

援助平均间隔时间 ≥750 hours

晶圆刮伤率 ≤1/1,000,000

无警报循环次数 ≥30,000 cycles

晶圆ID读取失败率 ≤0.5%

晶圆传输量（含0CR) ≥300

SMIF PORT——8寸标准晶圆装载系统：

200mm(8英寸)标准机械接口(SMIF)用于放置和开关装载了200mm晶圆的SMIFPOD。此项技术利用单一系统的迷你环境，将晶圆在被传输过程中隔离，避免晶圆受到污染。在提高生产良率的同时，也大大降低了无尘室的洁净度维护成本。

果纳半导体研发生产的200mm SMIF符合SEMIE194、S2和S9标准，可实现全自动化晶圆传输。果纳200mmSMIF运用先进的高精度运动系统和检测系统，加上自研的控制算法，除了可以实现基本的 SMIF POD、晶圆和cassette 的有无检测外，还可检测晶圆的突片、斜片以及晶圆厚度。

6/8寸晶圆装载系统介绍：

果纳半导体研发生产的200mm8300mmOCS符合SEMIE194、S2、58和E63标准。

应用了先进的高精度运动系统和检测系统，加上自研的控制算法，可以实现Cassette和晶圆的有无检测，晶圆的突片、斜片、叠片检测。

可选的RFID Reader功能。

条款规格

外形尺寸 L470mm×W440mmXH1340mm

硅片尺寸 150+/-2mm,200+/-2mm

硅片厚度 725+/-20um

功能 Double/Cross/Empty/Normal

Mapping Time 18 sec or less

凸片检测 Photoelectic Sensor

RFID 可选

料盒位置 PhotoelecticSensor

并行接口 DB25-F

通讯接口 LAN-RJ45

电源规格 24VDC/3Amp

重量 33kg

天车OHT：

OHT( Overhead Transport System,空中搬运系统 )是AMHS(Automated Mater ial Handling System,自动化物料搬运系统 )的重要组成部分，广泛应用于半导体制造等领域。该系统通过天花板上的轨道网络来运输物料容器(如 FOUP和 FOSB),避免了地面交通的干扰，提升了搬运效率和环境洁净度。尤其在大尺寸晶圆的处理上，OHT能有效缩短生产周期，减少人力成本，并降低污染风险。

除了硬件设施外， OHT系统还集成了MCS( Material Control System, 物料控制系统 )、 MCP( Master Control Processor, 主控制处理器)以及OCSX OHT ControlSystem,天车调度控制系统等复杂的控制系统，负责管理和调度搬运设备，确保高效作业。通过结合智能算法和地图技术，OHT系统不仅能够优化物料搬运路径，还能通过模拟与数据分析进一步提升系统性能，增强整体生产效率和可靠性。

条款规格

外形尺寸 909× W404× H914

载具类型 OUP; FOSB

运行速度直线速度:5.4m/sec( MAX)

曲线速度:1m/sec(MAX）

振动加速度直线行走 ≤0.5g

曲线行走 ≤1g

横移行程 85mm(MAX）

最大加速度 5mS^2

最大减加速度 3m/S^2

装载时间 12sec(Hoist3m)

定位精度 ±1mm

曲线半径 R500mm

供电方式非接触式供电

洁净等级 CLASS100

LIFT自动提升机：

条款规格

额定提升重量 145Kg

最高提升速度 0.4m/s

提升加速度 0.4m/s^2

提升行程 3.2M(可定制)

外形尺寸 1155*1200*385(L*W*H mm)

自身重量 ≤125Kg

额定功耗 1.5KW

洁净等级 CLASS100

供电 ≤1/100,000

控制器形成 ≥30.000 cycles

与MCP通信方式 ≤0.5%

带利兹线供电功能

Stocker存储设备：

洁净立体仓库(Clean Stocker )是AMHS( Automated Material Handing System, 自动化物料搬运系统 )中的关键组件，专为半导体生产线提供高效的物料存储与管理解决方案。通过集成专用堆垛机、物料存储单元以及自动和手动的物料进出口，它能够在高洁净度环境下存储晶圆载具( 如 FOUP和 FOSB),并且作为缓冲区来平衡设备及工艺间的产能差异，确保生产线的平稳运行。

该系统不仅具备高存储容量，能够充分利用生产线的空间，增加洁净室的有效使用面积，而且还支持高频次的物料进出，以适应自动搬运的要求。洁净立体仓库的洁净度一般可达Class1000级，最高可达Class10级，确保了半导体制造过程中的环境要求。通过与物料搬运设备无缝对接，洁净立体仓库能够形成一体化的物流系统，提升整体生产效率和产品质量。

条款规格

设备尺寸 L6660× W1453× H4200

载具类型 FOUP、FOSB

储存数量 170PCS

主轴速度 X轴、Z轴、叉取

定位精度 ±0.5mm

震动 ≤ 0.5G

OLUS人工晶圆装载系统：

工作方式任意设置

完整FOUP到位等检测功能

安全光幕保护，防止误操作

E84通信及RFID信息读取，实现与MCS间TCPMP方式的信息互传