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半导体检测设备

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苏州天准科技股份有限公司简介

时间:2025-08-23   编辑:半导体检测设备服务网

苏州天准科技股份有限公司简介

天准,卓越视觉装备平台企业

天准,卓越视觉装备平台企业,致力以人工智能技术推动工业数智化发展!

天准专注服务电子、半导体、新汽车等工业领域,提供业界领先的高端视觉装备产品,以人工智能成就现代工业之美。

VMZ高精度影像仪

VMZ超高精度影像仪专为高精度测量场景倾力打造,亚微米级精度,适用于半导体、微组装、光通信等高精度测量场景。

产品特点 

顶级的光学系统,超高放大倍率

多种高倍显微镜头可选择,放大倍率可达 25-6360倍 

激光辅助对焦,聚焦时间小于1秒

可程控式环形落射光源,LED轮廓光源,同轴光源,光源配置丰富,产品适用范围广

高精度运动平台

花岗岩主体结构,精度高、稳定性好

采用纳米级超低膨胀系数光栅尺,确保机台精度及稳定性 

高速静音电机驱动,设备平稳可靠

丰富的配件选项

可加装光谱位移传感器,实现高度、平面度等尺寸的扫描与打点测量

多种可选物镜,实现更多的放大倍率

VMQ闪测影像仪

VMQ 闪测影像仪凝聚了影像检测领域多项技术成果,融入先进的闪测理念,集大视野、大景深、高精度于一体。

产品特点 

双远心镜头设计,兼顾测量精度和测量效率

双倍率、三倍率镜头可选

满足特定行业的不同尺寸、不同公差的复杂测量需求

镜头各倍率下的测量数据可互相融合

高精度高效率,一键闪测

精准闪测,可同时识别多个工件并进行检测, 适合批量检测需求

自动图像配准功能,快速定位工件位置,无需使用治具

自动调取任务,无需人工查找

视野融合测量,大尺寸产品也可实现闪测

VMQ-D闪测影像仪

VMQ-D 闪测影像仪结合了大视野镜头和高倍率变倍镜头的优势,实现了测量精度和测量效率的双重提升。

产品特点 

双镜头设计,兼顾测量精度和测量效率

同时具备大视野高景深镜头与自动变倍镜头 

满足特定行业的不同尺寸、不同公差的复杂测量需求

双镜头测量数据可互相融合 

高精度高效率,一键闪测

精准闪测,可同时识别多个工件并进行检测, 适合批量检测需求

自动图像配准功能,快速定位工件位置,无需使用治具

自动调取任务,无需人工查找

融合测量,大工件也可以实现闪测

VMQ龙门式闪测影像仪

VMQ 龙门闪测影像仪融合了龙门影像仪大行程优势和闪测影像仪大视野特点,可以实现对大尺寸工件的高精度快速测量。

产品特点 

高精度高效率,一键闪测

精准闪测,可同时识别多个工件并进行检测, 适合批量检测需求

自动图像配准功能,快速定位工件位置,无需使用治具

自动调取任务,无需人工查找

融合测量,大工件也可以实现闪测

稳固的移动运动平台

大行程移动桥龙门结构,测量工件静音,高效安全

花岗岩主体结构,精度高、稳定性好 

直线电机驱动,设备平稳可靠,XY轴加速度可达1000mm/s²

功能丰富

大视野高景深,全景范围清晰成像,单视野范围可达φ100mm

可升降落射光源,多角度呈现测量细节

可加装光谱、辅助环形光源、手动/自动压板等

VMG龙门影像仪

VMG 龙门式自动影像仪专为大尺寸检测而设计,采用移动桥式结构,汇集了先进的设计理念,以完善的设计和严格的生产流程控制,确保机台的精度和稳定性。

产品特点 

稳固的移动运动平台

大行程移动桥龙门结构,测量工件静音,高效安全

花岗岩主体结构,精度高、稳定性好 

直线电机驱动,设备平稳可靠,XY轴加速度可达1000mm/s²

丰富的光学系统,自动测量

自动变倍镜头,放大倍率可达25-209倍 

可程控式6环8区环形落射光源,LED轮廓光源,光源配置丰富,产品适用范围广

可自动对焦测高

可飞拍测量,效率提高5-10倍

配置可移动手柄,方便测量任务编制及机台操作

丰富的配件选项

可加装同轴光,提升光学照明效果

可加装光谱位移传感器,实现高度、平面度等尺寸的打点测量

可加装接触式测头,通过Z向探测,实现高度、平面度等尺寸的测量

可加装转台、手动/自动压板等

VMU高端影像仪

VMU 凝聚了天准在影像、控制、软件等相关领域的科研成果与精湛的机械设计工艺,是一款具有高品质高性能的高端全自动影像仪。

产品特点 

AI测量,更智能,更快速

可飞拍测量,效率提高5-10倍 

智能提取功能,快速捕获被测特征

2秒内镜头快速自动聚焦,大幅度提升测量效率 

可加装AI自动抓边功能,降低人工干预,节省人力

丰富的光学系统,让成像更清晰

高倍自动变倍镜头,放大倍率可达25-338倍 

可程控式6环8区环形落射光源,LED轮廓光源,光源配置丰富,产品适用范围广

可加装可升降落射光源,多角度呈现测量细节

丰富的配件选项,实现复合式测量

可加装光谱位移传感器,实现高度、平面度等尺寸的扫描与打点测量

可加装接触式测头进行三维尺寸的测量

可加装可升降落射光源、转台等,多角度呈现测量细

CMZ计量型三坐标测量

CMZ系列计量型三坐标测量机是天准生产的高端计量设备。采用固定桥结构形式及碳化硅陶瓷的Z轴组合,保证了机械结构的稳定性。直线电机的运用使其在保证精度的同时,提供更高的测量速度和加速度,可满足复杂零部件的检测需求。该系列具有卓越的精度、较高的效率及稳定的性能等特点,可帮助实现精密加工、装配和质量控制,应用于计量检测、航空航天、国防科工、汽车制造及电子工业等领域。

计量级精度

得益于良好的系统设计,可实现亚微米级精度测量

优异的结构设计

测量机采用固定桥式的高刚性机械结构,使用花岗岩横梁、底座和立柱,以及精密SiC陶瓷Z轴的组合,保持机械结构的稳定性,抗外界干扰能力强

移动工作平台采用双燕尾式气浮导轨,确保系统测量和系统承载的同时提供良好的稳定性

极致的稳定性

SiC陶瓷Z轴具有热膨胀系数小、刚性强以及质量轻等优点,在保证测量系统稳定性的同时,亦提高了运动特性

各轴采用预载空气轴承及环抱式布局,具有高刚性、无接触、低摩擦以及低磨损的特点,有效保证机器的使用寿命,减少测量不确定性的发生次数

采用零膨胀系数光栅尺,分辨率高达到纳米级别,且不受外界温度影响,保证机器的高精度和稳定性

安全性

Z轴采用柔性平衡气缸,确保Z轴运动的可靠性

Z轴平衡气缸具有气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制,可在紧急情况下确保探测系统的安全

自主研发,具有更好的适配性

革命性的直线电机驱动搭配TCC自研电控

Vispec Cube 自研软件,获得德国PTB最高等级 Class1(0.1微米、0.1角秒) 认证

HSP固定扫描测头

TR50旋转测座

CMU高精度三坐标

CMU系列高精度三坐标测量机是天准生产的高端测量设备,采用单边高架结构,移动质量更轻,有效提高运动性能以及精度稳定性。直线电机的运用,在保证精度的同时,提供更高的测量速度和加速度,可满足复杂零部件的检测需求。具有卓越的精度、较高的效率及稳定的性能等特点,可帮助实现精密加工、装配和质量控制,应用于汽车制造、医疗行业、电子工业及加工制造等领域。

产品特点 

优异的结构设计

CAE辅助设计分析,减少结构设计的偏差,提高结构的稳定性,保证精度的长期稳定

单边直驱移动桥结构,移动质量更轻,驱动更接近移动质心,有效提高运动性能和精度稳定性

极致的稳定性

关键结构部分采用高精密碳化硅陶瓷材料,移动桥在质量更轻的同时,具备更高刚性与更低温度线膨胀性能,极大

提高了精度与长期可靠性

高刚性高性能气浮导向,无摩擦无磨损,三轴均采用四面环抱式设计,具备气浮压力监测功能,有效确保稳定性

三轴采用超低线温度线膨胀系数光栅尺,对温度变化不敏感,有效提高整机的精度

安全性

Z轴采用柔性平衡气缸,确保Z轴运动的可靠性

Z轴平衡气缸具有气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制,可在紧急情况下确保探测系统的安全

自主研发,具有更好的适配性

革命性的直线电机驱动搭配TCC自研电控

Vispec Cube 自研软件,获得德国PTB最高等级 Class1(0.1微米、0.1角秒) 认证

HSP固定扫描测头

TR50旋转测座

CME经济型三坐标

CME系列经济型三坐标测量机是通用生产型三坐标测量设备,采用稳定的矩形横梁结构,增加了结构的刚性。结构上采用移动桥式设计,可保证高效率高精度的测量。CME 系列旨在满足用户三维尺寸的测量需求,具有精度高、通用性强、自动化、灵活性高等特点,为生产现场、研发中心提供了稳定、高效测量解决方案。广泛应用于机械制造、模具制造、汽车工业、电子工业等领域。

产品特点 

经典稳定的结构设计

CAE辅助设计分析,减少结构设计的偏差,提高结构的稳定性,保证精度的长期稳定

经典的移动桥式设计,结构简单、紧凑、开敞性好、运动速度快,提供高效率、高精度的测量

高稳定性

三轴均采用花岗岩材质,确保膨胀系数的一致性

采用独特的矩形横梁结构,增加结构的刚性,保证机器快速、平稳、精确

高刚性高性能气浮导向,无摩擦无磨损,三轴均采用四面环抱式设计,有效确保稳定性

高精度

三轴采用高分辨率光栅尺,保证了良好的精度

安全性

Z轴采用平衡气缸,既保证Z轴上下移动的一致性,又可在紧急情况下确保探测系统的安全

自主研发,具有更好的适配性

TCC自研电控

Vispec Cube 自研软件,获得德国PTB最高等级 Class1(0.1微米、0.1角秒) 认证

HSP固定扫描测头

TR50旋转测座

CMS车间型三坐标

CMS 为一款通用车间型三坐标测量设备,占地面积小,旨在满足用户三维尺寸的测量需求,适用于各类型工件的测量,其独特的结构设计,提高了系统对于环境的抗干扰性能及长久的稳定性。可广泛应用于各类生产现场,无需专业的测量室,可无缝连接产线,实现方便快捷的工件测量。

产品特点 

环境适应性好

良好的机身外罩保护设计,可有效避免粉尘油污干扰

在15-40℃工作环境中,仍能保证优异的测量精度

灵活性强

无需压缩空气,机身小巧紧凑,车间移动灵活

可接自动化上下料,嵌入流水线操作,方便效率高

高精度

三轴采用低膨胀高分辨率光栅尺,保证了良好的精度

结构稳定

主体关键部分采用铸造方式,结合高刚性线性导轨的使用,提高了结构以及精度的稳定性

自主研发,具有更好的适配性

TCC自研电控

Vispec Cube 自研软件,获得德国PTB最高等级 Class1(0.1微米、0.1角秒) 认证

不止是工作,更是价值创造的旅程

企业文化

价值观与核心经营理念

价值观:走正道、赚慢钱、不怕难

核心经营理念:客户就是上级、产品就是尊严、让奋斗者成功

人才培养计划 

每一天,都是一个里程碑

共成长,同未来

我们以信任为基石,以开放为桥梁,让团队协作成为突破边界的力量。

为改变而生

凝聚创新力量,重新定义可能

我们以多元智慧共创价值,为每个需求提供更优解决方案。

我们的发展历程

天准里程碑

1.0影像测量领先品牌

2.0消费电子检测设备核心供应商

3.0视觉装备平台企业

2005在北京中关村成立

开启中国高端影像仪新时代!

2009苏州天准成立

2013

订单额突破一亿

荣获“国家重大科学仪器设备开发专项”

完成战略升级,进军工业智能装备领域

2015

新三板成功挂牌

启动新汽车业务

2017

订单额突破四亿

启动光伏业务

2019

中国科创板首次过会三家企业之一

股票代码:688003

启动PCB业务

启动智能驾驶业务

天准实力

致力打造卓越视觉装备平台企业

作为中国科创板首批上市公司,天准自2005年成立以来,始终保持高强度研发投入,铸就人工智能和精密光机电两大技术体系,打造行业领先的技术平台。天准构建了“以客户为中心”的高效组织体系,与各行业头部客户密切合作,并累计服务了全球6000余家中高端客户,深入各行业应用场景。天准牵头起草并参与制定多项国家标准与行业规范,荣获“国家企业技术中心”、“国家级博士后工作站”、“国家重大仪器专项承担单位”和“工信部智能制造系统解决方案供应商”等资质,为行业持续创新与发展注入强劲动力。

全球布局

全球业务网络

中国业务遍布各大城市,海外业务广泛分布于亚太、欧洲、北美、南美各区域,全面覆盖全球市场。

未来展望

天准科技园

智能成就工业之美!天准始终坚持以人工智能技术推进工业数智化升级,以高标准严要求成就现代工业质量、效率与人文之美。未来,天准将继续坚持长期主义,深耕电子、半导体、新汽车等工业领域,持续为客户创造价值,与全球合作伙伴共创辉煌!

科研实力

首页

关于天准

科研实力

技术专利——

驱动产品升级与行业革新

天准累计申请专利700余项,技术覆盖多个领域,以创新解决方案助力客户技术升级与产业高质量发展。

专利申请700+

科技奖项39

研发占比20%

检测级别nm 

科研奖项——

让创新落地生花,用科技改变明天

天准屡获行业权威奖项,用硬核科技推动产业变革,让未来加速到来。

2022年

荣获“2022年度江苏省科学技术奖一等奖”

2022年

荣获“国家企业技术中心”认定

2022年

荣获“2022年度江苏省工业设计中心”

2021年

荣获国家级专精特新“小巨人”称号

2021年

荣获“省级人工智能融合创新产品-光伏硅片在线检测分选系统”

2020年

天准创始人徐一华博士获评“享受国务院政府特殊津贴专家

2019年

获批江苏省企业研究生工作站

2018年

天准创始人徐一华博士获评“江苏省有突出贡献中青年专家”

2017年

获省级企业创新与成果转化专项资金项目

2017年

获批江苏省工业标准化试点示范项目

2016年

天准创始人徐一华博士入选国家“万人计划”领军人才

2016年

天准创始人徐一华博士入选“苏州十大科技创新创业人物”

2016年

获批江苏省博士后创新实践基地

2015年

获批江苏省重点企业研发机构

2014年

获中国仪器仪表学会年度优秀产品奖

2013年

入选江苏省创新团队

2013年

牵头承担科技部“国家重大科学仪器设备开发专项”

2012年

获批国家火炬计划产业化示范项目

2012年

获江苏省科学技术奖

2012年

入选江苏省科技成果转化专项项目

2011年

入选江苏省科技成果转化专项项目

标准及规范起草单位

天准参与13项国家标准及规范起草

GB/T 43915-2024

纳米几何量标准样板测试方法

GB/T 42980-2023

智能制造机器视觉在线检测系统测试方法

GB/T 16857.7-2022

产品几何技术规范(GPS)坐标测量系统(CMS)的验收检测和 复检检测 第7部分:配置影像探测系统的坐标测量机

GB/T 40810.1-2021

产品几何技术规范(GPS)生产过程在线测量 第1部分:几何 特征(尺寸、表面结构)的在线检测与验证

T/CMIF 66-2020

太阳能电池用硅片在线检测及分选系统

T/CMIF 67-2020

智能终端3D玻璃几何误差测量仪

GB/T 16857.901-2020

产品几何技术规范(GPS)坐标测量机的验收检测和检检测 第901部分:配置多影像探测系统的坐标测量机

GB/T16857.2-2017 /IS0 10360-2:2009

产品几何技术规范(GPS)坐标测量机的验收检测和复检检测 第2部分:用于测量线性尺寸的坐标测量机

GB/T16857.5-2017 /IS0 10360-5:2010

产品几何技术规范(GPS)坐标测量机的验收检测和检检测 第5部分:使用单探针或多探针接触式探测系统的坐标测量机

JB/T 12639-2016

闪测影像测量仪

JF 1318 2011

影像测量仪校准规范

JF1064-2010

影像测量仪校准规范

影像测量仪技术基础著作

行业深耕

作为多家行业组织核心成员,天准以专业资质为技术创新保驾护航

TC240 全国产品几何技术规范标准化技术委员会

委员单位

TC132 全国量具量仪标准化技术委员会

委员单位

MTC2 全国几何量长度计量技术委员会

委员单位

TC562 全国增材制造标准化技术委员会

委员单位

中国电子电路行业协会标准化工作委员会

理事单位

中国机电一体化技术应用协会产品数字化设计与制造理事会

理事单位

专业服务团队,

高效响应全球客户需求

资源与服务服务方案

专注,让服务更有精度

自2005年创立至今,天准已累计服务全球6000余家客户。每一份托付的背后,是全天候响应的专业团队与持续迭代的服务体系。技术不断进化,而我们对卓越服务的坚守始终如一。 

全生命周期服务

从需求洞察到设备迭代的价值创造 

售前咨询

提供场景化需求分析与设备选型, 为您匹配最优配置 

售中服务

从定制化开发、工艺验证到量产支持,资深工程团队全程护航 

售后维护

智能监测预警与本地化快速响应, 以数据驱动服务体验的持续提升

赋能客户成长,释放产品价值

基于6000+企业实践的技术赋能体系,助力客户实现效能跃升 

阶梯式学习资源

从基础操作指南到高级应用的进阶 

高效需求对接

24小时对接响应+关键问题升级路径 

多维学习工具

云端资料库+视频教程+专家指导 

场景化应用赋能

典型案例参考与实践分享

好的创意来自对话。期待与您交流!

苏州天准科技股份有限公司总部

苏州市高新区科技城五台山路188号

业务咨询:sales@tztek.com

媒体合作:pr@tztek.com

苏州天准科技股份有限公司官网:https://www.tztek.com


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多年前,我的第壹个客户对我说:"我知道你公司刚成立,也没有生产车间,但我看中的就是你做事踏实",于是我决定老实做人、用心做事,创办自己的半导体中道、后道工艺制造领域自动光学测试设备制造商,拥有一支快捷协作的销售和售后服务团队,研发、设计工程师在算法、光学、机电以及自动化控制、数据中心、人工智能等领域有深厚的丰富技术积累,为您提供半导体检测设备研发、设计、生产、销售一站式服务!诚信打造,安全保障,用心服务,助力中国IC、IGBT、LED、半导体IDM厂、封装厂产业发展!谢谢一路支持我的同事与合作伙伴。

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